如何對無塵室微粒子濃度進行控制    上海

     無塵室無塵室的浮游微粒子濃度，若用高性能的送風系統(tǒng)即可達到零水平，然而實際的生產(chǎn)現(xiàn)場由于作業(yè)者、機器、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚起了少許的微粒子，故造成了元件清潔面的粒子污染。無塵室內如何控制微粒子濃度呢？1、 不攜入 :人、機、料進無塵室不攜入微粒子（1）進入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等， 再

無塵室

無塵室的浮游微粒子濃度，若用高性能的送風系統(tǒng)即可達到零水平，然而實際的生產(chǎn)現(xiàn)場由于作業(yè)者、機器、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚起了少許的微粒子，故造成了元件清潔面的粒子污染。 

無塵室內如何控制微粒子濃度呢？

1、 不攜入 :人、機、料進無塵室不攜入微粒子 

（1）進入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等， 再通過風淋室吹淋，高速干凈的氣流可除去附在衣服表面的粒子，吹淋完畢才能進入無塵室。

（2）機器、材料進無塵室前，應盡可能在密封狀態(tài)下帶進無塵室前室保養(yǎng)后用純水擦拭，經(jīng)貨淋室吹淋或風淋傳遞窗吹淋后才能進入無塵室。 

（3）無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。 

2、不發(fā)生 :無塵室內動態(tài)環(huán)境下機、料的不發(fā)生控制；

在控制zui大污染源--人在無塵室內的微粒子發(fā)塵量的同時，也應控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量。因物品在移動時，所產(chǎn)生 的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵，而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達到zui小限度應采取以下對策： 

（1）減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài)； 

（2）采用磨耗發(fā)塵小的材質； 

（3）采用發(fā)塵小的潤滑油； 

3、不儲備： 

現(xiàn)實中人和物品的頻繁出入及機臺的掣動（動態(tài)），無塵室要想達到動態(tài)潔凈，因此“不儲備”技術快速地在過濾器中應用以除去已發(fā)生的微粒子變得重要。通常已發(fā)生的微粒子會依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動及不穩(wěn)定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起，增加了重大微粒子污染的危險性。 

控制氣流可防止微粒子累積，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在無塵室內會使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導電性材料。而對于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料，并藉由除電裝置進 行除電。 

4、排除/除去 

在無法避免大量微粒子發(fā)生的機臺中，為了不讓無塵室內產(chǎn)生微粒子，因此直接做對外排氣的動作，即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下：  

由于導入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向無塵室外排氣，而應采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內之對策。